水蒸気センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-301380
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131272
出願日： 1998年10月22日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】水蒸気濃度が既知の基準ガスを供給する手段を必要としない水蒸気センサを提供する。【解決手段】水素ポンプ用電解質部15は、その固体電解質2を挟む第一電極5と第二電極6間に印加される電圧によって、第一電極5側に接触した測定ガス中の水蒸気を電気分解し水素をポンピングする。ポンピングされた水素は基準ガスとして室17に蓄積される。測定用電解質部16は、基準ガス室17内の水素分圧と第三電極7側に接触した測定ガス中の水蒸気分圧との差に比例して第三電極7と第四電極8間に起電力を発生する。この起電力を測定することで、測定ガス中の水蒸気濃度を測定する。

請求項（抜粋）：

測定されるべき水蒸気を含む測定ガス中の水蒸気を測定する水蒸気センサであって、測定されるべき測定ガスが接触する第一電極および第二電極と該第一電極と該第二電極との間に形成されプロトン導電性をもつ固体電解質と該第一電極および該第二電極間に接続された直流電圧源とからなり、測定ガス中の水蒸気を電気分解して水素をポンピングする水素ポンプ用電解質部と、測定されるべき測定ガスが接触する第三電極および第四電極と該第三電極と該第四電極との間に形成されプロトン導電性をもつ固体電解質とからなり前記水素ポンプ用電解質部によってポンピングされた水素分圧と前記第三電極に接触する測定ガスの水蒸気分圧との比を該第三電極および第四電極間に起電力として発生する測定用電解質部と、前記第三電極および第四電極間に接続された起電力測定手段と具備したことを特徴とする水蒸気センサ。

IPC (2件)：

G01N 27/416 , G01N 27/406

FI (2件)：

G01N 27/46 371 H , G01N 27/58 Z

Fターム (1件)：

2G004ZA05

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-273051
特開昭55-030681
特開昭60-108744

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