特許
J-GLOBAL ID：200903024067531754
感熱式フロ-センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 輝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-086766
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283813
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 流体の流量や流速などを測定する感熱式フローセンサに関し、ヒータ部から絶縁層を通して温度センサ部に熱が伝導されるのを抑制することで、高感度な感熱式フローセンサを提供することを目的とする。【解決手段】 半導体基板2の表面に薄膜状に形成された絶縁層3と、絶縁層3の表面に配置されたヒータ部11と、ヒータ部11を中央にして流体の上流側および下流側における絶縁層3の表面に配置された第1および第2の温度センサ部12,13と、ヒータ部11ならびに第1および第2の温度センサ部12,13に対向して半導体基板2の表面側に開口するように該半導体基板2に形成された第1ないし第3の空隙部4a〜4cとを備えるものである。
請求項（抜粋）：
半導体基板の表面に薄膜状に形成された絶縁層と、前記絶縁層の表面に配置されたヒータ部と、前記ヒータ部を中央にして流体の上流側および下流側における前記絶縁層の表面に配置された第1および第2の温度センサ部と、前記ヒータ部ならびに前記第1および第2の温度センサ部に対向して前記半導体基板の表面側に開口するように該半導体基板に形成された第1ないし第3の空隙部と、を備えることを特徴とする感熱式フロ-センサ。
Fターム (2件)：
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