特許

J-GLOBAL ID：200903024069370707

乱流式クリーンルームの空気供給装置

発明者： 松本 剛介 ,  宮岡 進 ,  吉用 明敏 ,  畑 一郎 ,  山下 恭平 ,  加藤 圭二 ,  菊地 雅史 ,  今井 精一
出願人/特許権者： ジェネシス・テクノロジー株式会社 ,  株式会社テクノ菱和
代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-085936
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243123
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：

【要約】【課題】 乱流式クリーンルームにおいて、空気吹出口の真下に局所的な低温域が生じ易い従来型の吹出口に代えて、気流拡散性能を高めることにより、吹出気流を素早く室内空気と混合し、室内の温度ムラを少なくすることができるような吹出口(空気供給装置)を提供する。【解決手段】 クリーンルーム3から排出された空気を、温度,湿度及びクリーン度を調節して再びクリーンルーム3に供給するクリーンルームの空調システムであって、クリーンルーム3に再供給される空気の供給口12には、複数の空気案内翼18がブラインド状に配設されると共に各案内翼18が個別に角度変更できるよう取り付けられてなるガイド弁16を、少なくとも4基以上、各ガイド弁の取付方向が独立に変更できる状態で全体が正方形に近い形状となるように集合して配置した。

請求項（抜粋）：

室内の清浄度をある程度高く維持するために室内空気を排出し所定の空気条件に調整した後、その室内に還流することによってその室内の温度,湿度及びクリーン度を調節するようにした乱流式クリーンルームの空気供給装置において、前記乱流式クリーンルームに再供給される空気の吹出口には、複数の空気案内翼がブラインド状に配設されると共に各案内翼が個別に角度変更できるよう取り付けられてなるガイド弁を、少なくとも4基以上、各ガイド弁の取付方向が独立に変更できる状態で全体が正方形に近い形状となるように集合して配置したものであることを特徴とする乱流式クリーンルームの空気供給装置。

IPC (4件)：

F24F 7/06 ,  F24F 7/10 101 ,  F24F 13/068 ,  F24F 13/08

FI (4件)：

F24F 7/06 C ,  F24F 7/10 101 Z ,  F24F 13/068 B ,  F24F 13/08 B