特許

J-GLOBAL ID：200903024078425620

金属材料の研磨用組成物

発明者： 竹内 美明 ,  山本 浩二 ,  梅崎 博
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-188654
公開番号（公開出願番号）：特開平5-009463
出願日： 1991年07月29日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【構成】水とアルミナ研磨材及び研磨促進剤からなる金属材料の研磨用組成物に於いて、該研磨促進剤が硝酸クロム(III) 、硝酸ランタン、硝酸アンモニウムセリウム(III) 及び硝酸ネオジウムのうちから選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする金属材料の研磨用組成物。【効果】磁気ディスク基板、半導体基板等の金属材料に対し、加工能率が高く、面粗度が小さく、表面欠陥の極めて少ない精密研磨加工が可能である。

請求項（抜粋）：

水とアルミナ研磨材及び研磨促進剤からなる金属材料の研磨用組成物に於いて、該研磨促進剤が硝酸クロム(III) 、硝酸ランタン、硝酸アンモニウムセリウム(III) 及び硝酸ネオジムのうちから選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする金属材料の研磨用組成物。

IPC (3件)：

C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/84