特許

J-GLOBAL ID：200903024083618401

プローブカード

発明者： 風見 哲夫
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-171531
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041417
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【目的】パッド9及びパッド9の下部にある機能素子に損傷を与えることなく、確実な電気接触経路をもち、信頼度の高い検査が出来る。【構成】接触針5が摺動する摺動穴2とスプリング6が挿入される穴とを直径の異なる穴に形成し、穴の段差面に配線4の一端が露呈するように基板1に埋設し、接触針5と段差面との間に挾まれる導電性弾性材3を設け、接触針5と配線4との接触を導電性弾性材3を介して行われると同時にこの導電性弾性材3により接触針5のパッド4への衝撃力を緩和している。

請求項（抜粋）：

一面側に並べて複数の摺動穴及び同芯の直径の違う穴とが形成される基板と、この摺動穴に一端側が摺動し、他端側に前記穴に入れられるフランジをもつ接触針と、前記摺動穴と前記穴との段差面に一端を露呈されて前記基板に埋設される配線と、前記段差面と前記穴との間に挿入される導電性弾性材と、前記フランジを介して前記接触針に圧力を与えるスプリングとを備えることを特徴とするプローブカード。