特許
J-GLOBAL ID:200903024083637392
固体撮像素子の駆動方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
船橋 國則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-204170
公開番号(公開出願番号):特開平9-055883
出願日: 1995年08月10日
公開日(公表日): 1997年02月25日
要約:
【要約】【課題】 スミア改善のためにセンサ部表面近傍の実効的な信号電荷の蓄積領域を拡げる場合に、プロセス条件を変更しなければならなかった。【解決手段】 FIT方式CCD固体撮像素子において、イメージ部からストレージ部へ信号電荷を高速転送するフレームシフト期間に、基板電圧VsubにシャッタパルスΔVsubを重畳して基板11に印加することで、センサ部2と垂直転送レジスタ4の間における基板深さ方向のポテンシャルのピークを垂直転送レジスタ4側に変移させる。
請求項(抜粋):
2次元配列された複数個のセンサ部およびこれらセンサ部の垂直列ごとに配された複数本の垂直転送レジスタを有するイメージ部と、前記イメージ部から高速転送された信号電荷を蓄積するストレージ部とを具備する固体撮像素子の駆動方法であって、前記センサ部と前記垂直転送レジスタの間における基板深さ方向のポテンシャルのピークを、前記イメージ部から前記ストレージ部へ信号電荷を高速転送するフレームシフト期間に前記垂直転送レジスタ側に変移させることを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H04N 5/335 F
, H01L 27/14 B
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