特許

J-GLOBAL ID：200903024109822134

共振器の製造方法及び共振器

発明者： ジョン・ディー・ラーソン・サード ,  リチャード・シー・ルビー ,  ポール・ディー・ブラッドリー
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 加藤 公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-057210
公開番号（公開出願番号）：特開2002-359539
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】同一基板上に構成される薄膜共振器の製造おいて、共振周波数が異なる複数の共振器を精密に作成する。【解決手段】振動子電極の質量負荷効果を利用して共振周波数を微調整する。質量負荷効果は電極を酸化する手段を用いる。共振器(50)は、圧電(PZ)層(54)を挟持する底部および表面電極(56、52)を備え、前記表面電極(56)が、導電体部分(57)と酸化された導電体部分(58)とを備えている。

請求項（抜粋）：

基板上に共振器を製造する方法において、前記基板上に第1の底部電極、第1の圧電(PZ)層および第1の表面電極を備えた第1の共振器を作り、前記基板上に第2の底部電極、第2の圧電(PZ)層および第2の表面電極を備えた第2の共振器を作り、前記第1の表面電極を前記第1の共振器の共振周波数を低下させるために酸化するようにした共振器の製造方法。

IPC (5件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/04

FI (5件)：

H03H 9/17 F ,  H03H 3/04 B ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/18 101 B

Fターム (10件)：

5J108AA02 ,  5J108BB08 ,  5J108EE07 ,  5J108FF08 ,  5J108HH04 ,  5J108HH06 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK05 ,  5J108MM14 ,  5J108NB06