ロボットのハンド装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-256263
公開番号（公開出願番号）：特開平9-094787
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】例えば、クリーンルーム内に設けられた液晶ディスプレイの製造ラインにおいて、ガラス基板を多数収納したカセットから処理装置へ、ガラス基板を吸着把持して搬送することができ、しかも発塵することのないロボットのハンド装置を得る。【解決手段】平板状のフレーム10aの一方の平面10bに開口する凹部10cを設け、一側が凹部10cに収納され他側が平面10bから外方に突出し環状の接触面11aを有する硬質プラスチック製の吸着具11を設ける。そして、吸着具11を真空ホース12によりフレーム10に支持するとともに真空ポンプを運転して吸着具11によりガラス基板1を吸着する。

請求項（抜粋）：

ロボットのアームに固定された平板状のフレームと、上記フレームの一方の平面に取付けられてガラス基板を吸着把持する硬質プラスチック製の吸着具とを備えたことを特徴とするロボットのハンド装置。

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