特許

J-GLOBAL ID：200903024118739509

混合装置

発明者： 角掛 泰洋
出願人/特許権者： トキコテクノ株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-216919
公開番号（公開出願番号）：特開2004-057873
出願日： 2002年07月25日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】本発明は混合比率が大きく異なる複数の流体を均一の濃度に混合することを課題とする。【解決手段】混合装置は、加圧された2種類の液を混合ユニット16で混合するように構成されている。混合ユニット16は、ユニット本体60と、第1の混合室62と、第2の混合室64と、絞り孔66と、流入管68と、流出管70と、絞り管25とより構成されている。絞り孔66で加速された流体は、第2の混合室64において流速が減速されて流出管70の端部によって流れが変化するため、流路面積の大きい第2の混合室64の内部空間内を乱流状態で通過して小径な流出路70aから吐出管路52へ吐出される。第1の混合室62で混合された薬液と純水は、第1の混合室62、絞り孔66、第2の混合室64を通過する過程で均一な一定の濃度に混合されて吐出管路52へ安定供給される。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

異なる種類の流体を個別に供給する複数の流体供給経路と、 該複数の流体供給経路を流れる流体を所定圧力に加圧して供給する流体供給手段と、 該流体供給手段により加圧された複数の流体を混合させる混合手段と、 を備えてなる混合装置において、 前記混合手段は、 前記複数の流体供給経路から供給された複数の流体が混合される第1の混合室と、 該第1の混合室よりも小径に形成され、前記第1の混合室で混合された流体の流速を高める絞りと、 該絞りよりも大径に形成され、前記絞りから吐出された流体の流速を減速して乱流に変化させる第2の混合室と、 からなることを特徴とする混合装置。

IPC (4件)：

B01F3/08 ,  B01F5/04 ,  B01F5/06 ,  H01L21/306

FI (4件)：

B01F3/08 Z ,  B01F5/04 ,  B01F5/06 ,  H01L21/306 J

Fターム (9件)：

4G035AB37 ,  4G035AC23 ,  4G035AC26 ,  4G035AC55 ,  4G035AE02 ,  4G035AE13 ,  5F043AA01 ,  5F043BB30 ,  5F043EE40