特許
J-GLOBAL ID：200903024122307303
治具洗浄乾燥方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-165416
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013400
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 治具洗浄乾燥装置において、ワーク収納治具の乾燥時間を減少させ、スループットを向上させ、装置の設置スペースを減少させ、装置の小形化およびコストの低廉化を図り、ワーク収納治具内の不純物を溶出させ、パーティクルの付着を防止する。【構成】 治具洗浄乾燥装置において、温水を貯留する洗浄槽3と、ウエハ収納治具8を傾斜状態で収納するバスケット12と、このバスケット12を高速で洗浄槽3内に搬送し、洗浄後、洗浄槽3内から低速で引き上げる搬送ユニット11と、浸漬中のウエハ収納治具8に超音波を付与する超音波振動子6とを備えた構造とした。
請求項（抜粋）：
洗浄後、洗浄槽内の洗浄液中からワーク収納治具を傾斜状態で低速で引き上げつつ液切りを行い、ワーク収納治具の乾燥を行うことを特徴とする治具洗浄乾燥方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361
, H01L 21/304 341
