特許

J-GLOBAL ID：200903024128178181

感放射線性樹脂組成物

発明者： 下川 努 ,  杉浦 誠 ,  遠藤 昌之 ,  別所 信夫
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-339137
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184966
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【構成】 (A)式(1)で表わされる構造単位を有する重合体、(B)放射線照射により酸を発生する化合物および(C)酸の作用により前記式(1)で表わされる構造単位を有する重合体を架橋しうる化合物を含有する感放射性樹脂組成物【化1】(式中、R1 、R2 およびR3 は同一でも異なっていてもよく、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を示し、Xは-OCO-、-CO-、-NR4 CO-、-SO2 -または-OSO2 -のいずれかを示し、R4 は水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を示し、nは1〜5の整数を示す。)。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、放射線照射後の放置時間、あるいはPEB温度によるレジストパターンの線幅の増減が小さく、かつ、感度、解像度、残膜率、耐熱性、保存安定性などが良好な化学増幅型ネガ型レジストを提供できる。

請求項（抜粋）：

(A)式(1)で表わされる構造単位を有する重合体【化1】(式中、R1 、R2 およびR3 は同一でも異なっていてもよく、水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を示し、Xは-OCO-、-CO-、-NR4 CO-、-SO2 -または-OSO2 -のいずれかを示し、R4 は水素原子または炭素数1〜6のアルキル基を示し、nは1〜5の整数を示す。)、(B)放射線照射により酸を発生する化合物、(C)酸の作用により前記式(1)で表わされる構造単位を有する重合体を架橋しうる化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027