特許
J-GLOBAL ID：200903024133994191
液晶表示装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-140588
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349857
出願日： 1993年06月11日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 信号線の断線が生ずるのを防止する。【構成】 下部透明ガラス基板を無機アルカリ洗浄液を用いてアルカリ洗浄し、下部透明ガラス基板上にCrからなる第1導電膜をスパッタリングにより設け、写真処理後、エッチング液として硝酸第2セリウムアンモニウム溶液で第1導電膜を選択的にエッチングすることによってゲート端子、ドレイン端子を形成し、下部透明ガラス基板を無機アルカリ洗浄液を用いたディップ式の洗浄装置を使用してアルカリ洗浄する。
請求項（抜粋）：
透明基板に端子を形成したのちに、上記透明基板をアルカリ洗浄することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
IPC (3件)：
H01L 21/336
, H01L 29/784
, G02F 1/136 500
