特許

J-GLOBAL ID：200903024138621709

光導波路モジュールの製造方法

発明者： 鈴木 健司 ,  繁松 孝
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 広志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082187
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278425
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【構成】 ウェーハ上に、複数の光導波路パターンと2本の位置決め溝を平行に形成し、ウェーハを切断して、複数の光導波路パターン12と2本の位置決め溝31が横に並んだ光導波路チップ連結体41を作製する。複数の光ファイバアレイ17と、2本のガイドピン孔35を有する光ファイバアレイ連結体43を作製する。光導波路チップ連結体41と光ファイバアレイ連結体43を、ガイドピン37で軸心を合わせて接着した後、光導波路モジュール1単位ごとに分割する。【効果】 多数の光導波路モジュールを効率よく製造することができ、量産性が向上する。複数の光導波路モジュールが同じ条件の位置決めによって製造されるため、製品間のバラツキを少なくできる。

請求項（抜粋）：

光導波路チップと光ファイバアレイを接続してなる光導波路モジュールを製造する方法において、ウェーハ上に、複数の光導波路パターンを平行に並べた光導波路パターンの組を、光導波路パターンの縦方向に1組以上形成すると共に、2本の位置決め溝を光導波路パターンの縦方向と平行に形成し、そのウェーハを、光導波路パターンの縦方向の両端に相当する位置で横方向に切断して、複数の光導波路パターンと2本の位置決め溝が横に並んだ光導波路チップ連結体を作製し、その一方で、光導波路チップ連結体の複数の光導波路パターンに対応する複数の光ファイバアレイと、光導波路チップ連結体の2本の位置決め溝に対応する2本の位置決め部とを有する光ファイバアレイ連結体を作製し、前記光導波路チップ連結体と光ファイバアレイ連結体を、光導波路チップ連結体の位置決め溝と光ファイバアレイ連結体の位置決め部の軸心を合わせて接続した後、光導波路モジュール1単位ごとに分割する、ことを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。