特許
J-GLOBAL ID：200903024140641652
微細ボール搭載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-294144
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124247
出願日： 1998年10月15日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 コストアップを招くことなく、余剰の微細ボールを容易に除去する。【解決手段】 複数の吸着孔が形成された吸着治具2を有し、吸引装置B21によって吸着孔に微細ボールを吸着させて移動させるボール吸着装置10と、吸着治具2へ微細ボールを受け渡すボール供給装置14と、超音波振動する超音波振動体18aに連結されて、ボール供給装置14の配列治具22の上方に支持された筒体19を有し、筒体19内に同心円状の節を有する定在波を発生させて微細ボールを同心円状の帯状に集束させた状態にて配列治具22上を平行移動させ、微細ボールを配列治具22の配列孔へ分配するボール分配装置24と、筒体19を揺動させて、筒体19の下端面から放射する超音波によって配列治具22上の余剰の微細ボールを除去させる揺動装置45とを具備させる。
請求項（抜粋）：
バンプとなる微細ボールを吸着し、吸着した微細ボールをワークへ搭載させる微細ボール搭載装置であって、複数の吸着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段によって前記吸着孔に前記微細ボールを吸着させて移動させるボール吸着手段と、前記微細ボールが保持される複数の配列孔が形成された配列治具を有し、該配列治具の配列孔に保持された微細ボールを前記吸着治具の吸着孔へ供給するボール供給手段と、前記配列治具上を相対移動してこの配列治具に形成された前記配列孔へ前記微細ボールを保持させるべく分配するボール分配手段とを具備してなり、該ボール分配手段は、有底円筒状に形成され、開口側を前記配列治具へ向けて支持された筒体と、該筒体の底部側に設けられ、超音波振動を発生させて前記筒体を振動させる超音波振動体とを有し、前記超音波振動体の振動により前記筒体内に同心円状に節を有する定在波を発生させ、この定在波により前記微細ボールを筒体内にて同心円状に集束させた状態にて、前記配列治具上を移動して、前記配列孔へ前記微細ボールを分配することを特徴とする微細ボール搭載装置。
FI (2件)：
H01L 21/92 604 H
, H01L 21/92 604 F
