特許

J-GLOBAL ID：200903024155849357

加速度センサ

発明者： カイ ノットマイヤー ,  水野 潤
出願人/特許権者： 株式会社ゼクセル
代理人 (1件)： 宮園 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-317191
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178952
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】 トーションビームの疲労破壊を回避しつつ全体的に小型化を図ることを容易にし、かつ各コンデンサを構成する電極の製造を容易にし配線処理の簡略化を図る。【構成】 中央固定板1の外周両端中央と、中央固定板1を収容する錘板3の窓5の内周中央との間にトーションビーム7a,7bを設け、錘板3のおもり部12a,12bの表裏面に電極11a,11b,12a,12bを設ける。おもり部の電極11a,11b,12a,12bに対向する電極23a,23b,25a,25bを備える一対の上、下板17,19から成る外囲器21を中央固定板1及び錘板3を収容する外枠15の側面に装着して中央固定板1を支承する。トーションビーム7a,7bの全長を長くすることができ、電極11a,11b,12a,12bを1度の印刷で構成することができる。

請求項（抜粋）：

中央固定板の外周両端中央より、X軸又はY軸上に沿って外方に突出するトーションビームと、上記中央固定板を収容する窓を中央に有し、内周の中央が上記トーションビームの先端に接続されて、上記トーションビームの撓みに基づき当該トーションビームを中心に回動運動をし、さらにZ軸方向に変位する錘板と、上記錘板の表裏面に対向すると共に上記中央固定板を支承する上,下板から成る外囲器と、上記錘板の表裏面の両側に設けられた電極と、これ等各電極に対向する如く上記上,下板の内側に設けられた電極とを有し、互いに近接して対向する電極でコンデンサを形成し、各コンデンサの出力を演算することにより、上記トーションビームを中心とする軸回りの角加速度及びZ軸方向の加速度を検出可能とした加速度センサであって、上記各トーションビームは細幅でかつ上記錘板とほぼ同一の肉厚を有することを特徴とする加速度センサ。