X線発生装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗 , 石田悟 , 柴山健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-155864
公開番号（公開出願番号）：特開2009-301911
出願日： 2008年06月13日
公開日（公表日）： 2009年12月24日
要約：

【課題】電子通路内の真空状態を保持しつつターゲットに対する電子ビームの入射位置を変更することができるX線発生装置を提供する。【解決手段】 X線発生装置1では、ターゲット5を支持する支持部材26と出射端部13との間に樹脂シート25が配置されていると共に、樹脂からなる押圧部材29の嵌合穴29aに支持部材26の保持枠27が回転自在に嵌め合わされている。そのため、押圧部材29によって支持部材26が出射端部13に対して押圧された状態で、嵌合穴29aの中心線L2回りに支持部材26を摺動させて回転させ得る。このとき、ターゲット5に対する電子ビームEの入射位置Pがターゲット5の回転中心Cから外れているので、ターゲット5に対する電子ビームEの入射位置が変更される。しかも、支持部材26と出射端部13との間の気密性がOリング31及び樹脂シート25よって確保される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

電子銃から出射された電子ビームをターゲットに入射させて、前記ターゲットからX線を放射させるX線発生装置であって、前記電子銃から出射された前記電子ビームが通過する電子通路と、前記ターゲットを支持する支持部材と、前記支持部材を前記電子通路の出射端部に対して押圧する押圧部材と、前記出射端部において前記電子通路を包囲するように、前記出射端部と前記支持部材との間に配置された気密封止部材と、前記出射端部と前記支持部材との間に設けられた第1の樹脂層と、を備えることを特徴とするX線発生装置。

IPC (1件)：

H01J 35/08

FI (2件)：

H01J35/08 E , H01J35/08 F

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3999399号公報

審査官引用 (3件)

透過型X線管
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-336934 出願人：浜松ホトニクス株式会社
X線管
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-085899 出願人：株式会社島津製作所
X線陽極およびその製造法
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-512615 出願人：フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツルフェルデルングデルアンゲヴァンテンフォルシュングエーファウ

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