特許
J-GLOBAL ID：200903024163105332
電気めっき方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-285682
公開番号（公開出願番号）：特開平10-130896
出願日： 1996年10月28日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：
【要約】【課題】 電流密度の緻密なコントロールが行える電気めっき方法を提供する。【解決手段】 基板1を陰極として陽極2と対峙させ、上記基板1表面にめっきを施す電気めっき方法であって、上記基板1表面の近傍に電流密度センサー4を設置し、基板1と陽極2の間に遮蔽板3を介在させて、上記電流密度センサー4により検出された電流密度分布を観測しながら、上記遮蔽板3による基板1と陽極2の間の遮蔽面積を変えて電流密度分布を調整する。
請求項（抜粋）：
基板を陰極として陽極と対峙させ、上記基板表面にめっきを施す電気めっき方法であって、上記基板表面の近傍に電流密度センサーを設置し、基板と陽極の間に遮蔽板を介在させて、上記電流密度センサーにより検出された電流密度分布を観測しながら、上記遮蔽板による基板と陽極の間の遮蔽面積を変えて電流密度分布を調整することを特徴とする電気めっきする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C25D 21/12 A
, C25D 17/10 A
