特許

J-GLOBAL ID：200903024171272191

ガス分配装置を備えたウェファ-ラック

発明者： ヤコブス・ヨハネス・ビユーレンス
出願人/特許権者： エイエスエム・インターナシヨナル・エヌ・ブイ
代理人 (1件)： 小田島 平吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-130000
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031251
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 均一な分配を達成する。【解決手段】 少なくとも2枚のウェファーのための収納体を備えたキャリヤフレームからなるウェファーラック。前記のウェファー上にガスの均一な分配を提供するために、少なくとも各ウェファーの上方に、ウェファーラックがその中に配置されている反応容器に対するガス供給体に連結されている、ガス分配装置が設置されている。

請求項（抜粋）：

各収納体に有効なガス分配装置がキャリヤフレーム上に設置されており、前記のガス分配装置がガス供給手段のみならず各収納体に対して少なくとも1個の開口部を備えている分配板を含んでなることを特徴とする、少なくとも2枚のウェファーのための少なくとも2個の収納体を備えたキャリヤフレームを含んでなる、反応容器内に設置されるウェファーラック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511

FI (3件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 S