基板及びブラシ洗浄装置及び洗浄方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-040125
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243735
出願日： 1999年02月18日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】基板、定盤等の洗浄工程においては、ブラシ等を用いて物理的に除去する方法を採っているが、前記除去したパーティクルが付着したロールブラシの毛は、前記パーティクルがとれないようになると、高価なロールブラシ自体を取り替えなくてはならず、コストもかかり、取り替えの手間もかかっていた。【解決手段】ブラシを用いた基板、定盤等の洗浄工程時に、ブラシの毛6に電位を条件に合わせかけることにより、帯電しているパーティクル2を、その吸着力または反発力を利用し、吸着または、除去する。

請求項（抜粋）：

基板に付着した粒子を除去するブラシを有する基板洗浄装置において、前記ブラシと前記基板との間に電圧を与える手段を具備することを特徴とする基板及びブラシ洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 644 , H01L 21/304 , B08B 1/04 , B08B 3/10

FI (5件)：

H01L 21/304 644 B , H01L 21/304 644 C , H01L 21/304 644 Z , B08B 1/04 , B08B 3/10 Z

Fターム (23件)：

3B116AA02 , 3B116AA03 , 3B116AB01 , 3B116AB34 , 3B116BA13 , 3B116BA15 , 3B116BA34 , 3B116BB02 , 3B116BC01 , 3B116CD23 , 3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB01 , 3B201AB34 , 3B201BA13 , 3B201BA15 , 3B201BA34 , 3B201BB02 , 3B201BB92 , 3B201BB93 , 3B201BC01 , 3B201CB12 , 3B201CD23

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