特許

J-GLOBAL ID：200903024182532543

気体計測用流量計

発明者： 福岡 修 ,  相原 和美 ,  廣江 信博
出願人/特許権者： 京セラ株式会社 ,  チェストエム・アイ株式会社 ,  日星産業株式会社
代理人 (1件)： 高木 義輝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-231161
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083713
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】 気体計測用流量計に関し、抵抗値制御が正確に、かつ、簡単にできるようにした気体計測用流量計を提供することを目的とする。【構成】 気体を流通させる通路2と、この通路2を横断する層流抵抗体3と、この層流抵抗体3の前後の差圧を検出する差圧センサーとを備える気体計測用流量計において、上記層流抵抗体3が格子状断面を有するハニカムで構成される気体計測用流量計である。

請求項（抜粋）：

気体を流通させる通路と、この通路を横断する層流抵抗体と、この層流抵抗体の前後の差圧を検出する差圧センサーとを備える気体計測用流量計において、上記層流抵抗体が格子状断面を有するハニカムで構成されることを特徴とする気体計測用流量計。