特許
J-GLOBAL ID：200903024185334050
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-235058
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082380
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 被検物の本来のパターンの密集度や形状等の条件によらずに、欠陥のみを検出する。【構成】 受光レンズ24による被検査物19のフーリエ変換面の近傍に配置された開口26を有する遮光板25と、開口26と等価な開口29を通過した光を光電変換する受光器30と、開口26を通過する光量を最小にするように被検査物19からの光のフーリエ変換パターンと遮光板25との相対位置を変化させる駆動部28と、開口26を通過した光を逆フーリエ変換して被検査物19の共役像を結像するレンズ31と、その共役像を撮像する撮像装置32とを有する。
請求項（抜粋）：
被検物に検査用の光を照射する光照射手段と、前記被検物からの光を集光する集光光学系とを有し、該集光された光により前記被検物の欠陥を検査する装置において、前記集光光学系による前記被検物のフーリエ変換面の近傍に配置され前記被検物からの光のフーリエ変換パターンの一部のみに対応する光を通過させる開口手段と、該開口手段又は該開口手段と等価な開口手段を通過した光を光電変換する光検出手段と、前記開口手段を通過する光量を最小にするように前記被検物からの光のフーリエ変換パターンと前記開口手段との相対位置を変化させる相対位置可変手段と、前記開口手段を通過した光を逆フーリエ変換して前記被検物の共役像を結像する変換光学系と、前記共役像を撮像する撮像手段とを設けた事を特徴とする欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H01L 21/66
