特許

J-GLOBAL ID：200903024186335785

水晶振動子

発明者： 堀澤 洋一
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-261515
公開番号（公開出願番号）：特開2003-078383
出願日： 2001年08月30日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】 シリコーン系導電接合材によって通電性が損なわれることを防止し、安定した電気特性であり、かつ生産性にすぐれた水晶振動子を提供する。【解決手段】 水晶片10の主面にCrまたはNiよりなる下地金属層13と下地金属層13上にAuからなる励振電極11を形成するが、励振電極11において、導電性接合材4との接合部は表面金属層14から下地金属層13が部分的に露出するよう形成する。また、励振電極11において、導電性接合材4との接合部は表面金属層14の膜厚が部分的に薄く形成した薄膜領域14aを有し、この表面に下地金属層13のCr等が析出した表面析出層16を形成してなる。

請求項（抜粋）：

表面に電極パッドが形成された基板と、水晶片の主面にCrまたはNiの下地金属層とAuの表面金属層とを順次積層した励振電極及び該励振電極から引き出した引出電極とを形成して成る水晶振動素子とを有し、前記基板の電極パッドと前記引出電極との間をシリコーン系の導電性接合材により固着・接続してなる水晶振動子において、前記引出電極は、前記表面金属層から下地金属層が部分的に露出していることを特徴とする水晶振動子。

IPC (4件)：

H03H 9/10 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H03H 9/19

FI (4件)：

H03H 9/10 ,  H03H 9/19 C ,  H01L 41/08 L ,  H01L 41/18 101 A

Fターム (14件)：

5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108FF12 ,  5J108FF14 ,  5J108GG03 ,  5J108GG11 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108KK02