特許

J-GLOBAL ID：200903024194688212

耐プラズマ性に優れるアルミナセラミックスの製造方法

発明者： 金丸 守賀 ,  久本 淳 ,  永浜 睦久 ,  杉山 成正
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所 ,  神鋼コベルコツール株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-054976
公開番号（公開出願番号）：特開平11-246263
出願日： 1998年03月06日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：

【要約】【課題】 半導体や液晶ディスプレイ等の製造プロセスにおいて優れた耐プラズマ性を発揮するアルミナセラミックスを、上記単結晶引き上げ法の様な特殊な方法ではなく一般的な焼結法で製造することのできるアルミナセラミックスの製造方法を提供する。【解決手段】 アルミナ粉末を成形した後、焼結するアルミナセラミックスの製造方法において、窒素を含有する不活性雰囲気で焼結する。上記不活性雰囲気の窒素分圧としては0.5気圧以上であることが望ましく、焼結温度は1400°C以上1900°C以下とすることが好ましい。

請求項（抜粋）：

アルミナ粉末を成形した後、焼結するアルミナセラミックスの製造方法であって、窒素を含有する不活性雰囲気で焼結することを特徴とする耐プラズマ性に優れるアルミナセラミックスの製造方法。