光変調デバイス及びその駆動方法並びに表示装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：栗原浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248080
公開番号（公開出願番号）：特開2001-075028
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】反射面の曲率変化を大きくして集光性能を向上させると共に変調性能を向上した光変調デバイス及びその駆動方法並びに表示装置を提供する。【解決手段】基板11上に支持部13を介して回動可能に支持されると共に光を反射するミラー12と、該ミラー12に対応する領域の前記基板11上の前記ミラー12に対向する領域に設けられて気体を吐出する吐出孔22と、該吐出孔22と連通して当該吐出孔22に気体を供給する供給路23と、該供給路23の途中に設けられて当該供給路23の開閉を圧電素子30で行う気体吐出弁20とを有し、前記吐出孔22から吐出される気体圧により前記ミラー12が回動する。

請求項（抜粋）：

基板上に支持部を介して回動可能に支持されると共に光を反射するミラーと、該ミラーに対応する領域の前記基板上の前記ミラーに対向する領域に設けられて気体を吐出する吐出孔と、該吐出孔と連通して当該吐出孔に気体を供給する供給路と、該供給路の途中に設けられて当該供給路の開閉を圧電素子で行う気体吐出弁とを有することを特徴とする光変調デバイス。

Fターム (7件)：

2H041AA04 , 2H041AA13 , 2H041AB14 , 2H041AC02 , 2H041AC08 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08

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