特許

J-GLOBAL ID：200903024206971055

真空チャック面の空気洩れ防止方法

発明者： 山田 良彦 ,  石榑 博司 ,  大阪 哲嗣 ,  野田 純孝
出願人/特許権者： 豊田工機株式会社 ,  株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (1件)： 平井 二郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273400
公開番号（公開出願番号）：特開平6-099329
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：

【要約】【目的】本発明は、多気孔部材よりなるチャック面板を用いた真空チャックにおいて、工作物が接していない工作物の周囲のチャック面板の空気洩れを防止する方法を提供する。【構成】真空引き穴2を有する固定面1に固設した硬質の多気孔部材よりなるチャック面板3上に工作物Wを載置し、工作物W周囲のチャック面板3にシリコンゴム6を塗布して真空引きする工程と、チャック面板3より工作物Wを取り外して前記塗布したシリコンゴム6が硬化した後に前記シリコンゴム塗布面を含めてチャック面板3の表面を砥石7で平坦研削する工程とから成ることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空引き穴を有する固定面に固設した硬質の多気孔部材よりなるチャック面板上に工作物を載置し、工作物周囲のチャック面板にシリコンゴムを塗布して真空引きする工程と、チャック面板より工作物を取り外して前記塗布したシリコンゴムが硬化した後に前記シリコンゴム塗布面を含めてチャック面板の表面を砥石で平坦研削する工程とから成る真空チヤック面の空気洩れ防止方法。