特許

J-GLOBAL ID：200903024207040489

レーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法

発明者： 永田 泰昭
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-239362
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065803
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 一台で複数のモードの板波を検査対象に発生させて欠陥検査を実行でき、更に、その欠陥が存在する深さに関する情報も得られるレーザー超音波検査装置及びレーザー超音波検査方法を提供する。【解決手段】 音響光学素子12から出射されるレーザービーム17及び音響光学素子141 ,142 から出射されるレーザービーム181 ,182 の光周波数は、元々の光周波数からシフトされる。これらは、鋼材1の左側の側端部近傍に所定の入射角で照射される。このとき、レーザービーム181 のスポット311、レーザービーム182 のスポット312 は、y軸方向に重ならないで並ぶようにし、また、レーザービーム17のスポット30は、y軸方向の幅をスポット311 ,312 の約2倍とし、これらを全体的にカバーしてスポット311 ,312 と重なるようにする。

請求項（抜粋）：

第一、第二、第三、第四のレーザービームを発するレーザー発生手段と、前記第一及び第二のレーザービームを、それぞれ所定の入射角で検査対象の第一の照射位置に照射する第一のレーザービーム照射手段と、前記第三及び第四のレーザービームを、それぞれ所定の入射角で検査対象の第二の照射位置に照射する第二のレーザービーム照射手段と、前記第一及び第二のレーザービームのいずれか一方又は両方の光周波数をシフトして両者の光周波数に所定の差を設けることにより、前記第一の照射位置において第一及び第二のレーザービームによる干渉及び干渉縞の移動を起こさせる第一の光周波数差設定手段と、前記第三及び第四のレーザービームのいずれか一方又は両方の光周波数をシフトして両者の光周波数に所定の差を設けることにより、前記第二の照射位置において第三及び第四のレーザービームによる干渉及び干渉縞の移動を起こさせる第二の光周波数差設定手段と、検査対象の特定の位置で板波を観測する板波観測手段とを有し、前記第一の照射位置での干渉及び干渉縞の移動によって検査対象に第一のモードの板波を発生させるとともに、前記第二の照射位置での干渉及び干渉縞の移動によって検査対象に第二のモードの板波を発生させ、前記第一のモードの板波及び第二のモードの板波の欠陥による反射エコーを前記板波観測手段で観測することにより検査対象内の欠陥を検出することを特徴とするレーザー超音波検査装置。

Fターム (10件)：

2G047AA07 ,  2G047AB04 ,  2G047BA07 ,  2G047BB02 ,  2G047BC05 ,  2G047BC07 ,  2G047CA04 ,  2G047CB04 ,  2G047EA09 ,  2G047EA10