特許

J-GLOBAL ID：200903024207828051

X線異物検査装置

発明者： 芝田 健治
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289945
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132762
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 被検査物や異物の形状に影響されることなく異物検査を行うことができるX線異物検査装置を提供する。【解決手段】 立体形状計測手段2によって被検査物10の立体形状データを求めるとともに、X線データ計測手段3によって被検査物を透過する透過X線量を求め、相関関係演算手段41によって、被検査物と同じ平面位置の立体形状データとX線データとの相関関係を演算する。被検査物中に異物が存在しない場合には、立体形状データとX線データは、外形形状について相関関係があるため、相関関係演算手段41からは相関関係がある旨を表す演算結果が得られ、被検査物中に異物が存在する場合には、立体形状データとX線データは、外形形状について相関関係があるが、異物については相関関係がないため、相関関係演算手段41からは相関関係がない旨を表す演算結果が得られ、被検査物中の異物の検査を行うことができる。

請求項（抜粋）：

透過X線によって被測定物の異物検査を行うX線異物検査装置において、被検査物の立体形状データを計測する立体形状計測手段と、被検査物を透過した透過X線量を計測して、X線データを得るX線データ計測手段と、被検査物の同一二次元位置において、立体形状データとX線データとの間の相関関係を演算する相関関係演算手段とを備え、前記相関関係から被検査物中に含まれる異物を検出することを特徴とするX線異物検査装置。