特許

J-GLOBAL ID：200903024208179901

搬送ロボットの摺動部構造

発明者： 木全 一夫 ,  吉村 貴志
出願人/特許権者： 株式会社メックス
代理人 (1件)： 飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-152616
公開番号（公開出願番号）：特開平11-347982
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：

【要約】【課題】 搬送ロボットの摺動部における潤滑性及び撥水性の向上を図るとともにクリーンルーム内での使用に最適なものとすること。【解決手段】 搬送ロボットの機台1の上面11とアーム支持台2の下面との間に配設される伸縮保護カバー6は、カーボン硬質膜がコーティングされてなるものである。

請求項（抜粋）：

摺動部にシール部材又は伸縮保護カバーが配設される搬送ロボットにおいて、前記シール部材又は前記伸縮保護カバーはカーボン硬質膜がコーティングされてなるものであることを特徴とする搬送ロボットの摺動部構造。

IPC (3件)：

B25J 19/00 ,  B65G 49/00 ,  F16J 15/52

FI (3件)：

B25J 19/00 H ,  B65G 49/00 A ,  F16J 15/52 Z