荷電粒子線装置及びそのような装置を用いたデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-008992
公開番号（公開出願番号）：特開2002-216692
出願日： 2001年01月17日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：

【要約】【課題】厚肉レンズを正確に軸合わせする。【解決手段】荷電粒子線を対象に結像させる、荷電粒子線装置において荷電粒子線の入射順に第1、第2及び第3の少なくとも3枚の軸対称電極(4,5,6)を備えた対物レンズ(8)と、対物レンズに入射する荷電粒子線を各々偏向するため該対物レンズの前段に配置された2段以上の偏向器(2,3)と、を含み、2段以上の偏向器は、第1及び第2の軸対称電極間に印加される電位差を変化させたときの対物レンズを出た主光線の変化を実質的に最小にし、且つ、第2及び第3の軸対称電極間に印加される電位差を変化させたときの対物レンズを出た主光線の変化を実質的に最小にするように、対物レンズの軸合わせを行う。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を対象に結像させる、荷電粒子線装置であって、前記荷電粒子線の入射順に第1、第2及び第3の少なくとも3枚の軸対称電極を備えたレンズと、前記レンズに入射する荷電粒子線を各々偏向するため前記レンズの前段に配置された2段以上の偏向器と、を含み、前記2段以上の偏向器は、前記第1及び第2の軸対称電極間に印加される電位差を変化させたときの前記レンズを出た主光線の変化を実質的に最小にし、且つ、前記第2及び第3の軸対称電極間に印加される電位差を変化させたときの前記レンズを出た主光線の変化を実質的に最小にするように、前記レンズの軸合わせをなしたことを特徴とする、荷電粒子線装置。

IPC (7件)：

H01J 37/147 , G01R 1/06 , G01R 31/302 , G03F 1/08 , G21K 5/04 , H01J 37/12 , H01J 37/28

FI (9件)：

H01J 37/147 B , G01R 1/06 F , G03F 1/08 S , G21K 5/04 M , G21K 5/04 C , G21K 5/04 W , H01J 37/12 , H01J 37/28 B , G01R 31/28 L

Fターム (14件)：

2G011AA01 , 2G011AC06 , 2G011AE03 , 2G132AA00 , 2G132AD15 , 2G132AE04 , 2G132AE16 , 2G132AF13 , 2H095BD14 , 2H095BD20 , 5C033CC02 , 5C033FF03 , 5C033UU01 , 5C033UU02

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