薄膜トランジスタ装置、その製造方法及び液晶表示装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横山淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-388306
公開番号（公開出願番号）：特開2003-188183
出願日： 2001年12月20日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】ゲート絶縁膜の膜厚が異なるTFTを同一基板上に有し、耐圧の劣化を防止し、動作層のエッジ部での寄生TFTの動作を抑制することができる薄膜トランジスタ装置を、さらなる微細化を図りつつ作成することが可能な薄膜トランジスタ装置の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】第1の島状半導体膜24aを被覆する第1の絶縁膜25上にネガティブフォトレジスト膜26を形成する工程と、透明基板21の裏面側からネガティブフォトレジスト膜26を露光し、現像して第1の島状半導体膜24aの周縁から内側の表面に開口部を有するレジストマスクを形成する工程と、レジストマスクの開口部内の第1の絶縁膜25をエッチングする工程と、第1の絶縁膜25を被覆する第2の絶縁膜と、その上の導電体膜を形成する工程と、導電体膜をパターニングし、第1のゲート電極と第2のゲート電極とを形成する工程とを有する。

請求項（抜粋）：

透明基板の表面に第1及び第2の島状半導体膜を形成する工程と、前記第1及び第2の島状半導体膜を被覆する第1の絶縁膜を形成する工程と、前記第1の絶縁膜上にネガティブフォトレジスト膜を形成する工程と、前記第1の島状半導体膜の全域を遮光するマスクを介して前記ネガティブフォトレジスト膜を露光する工程と、前記透明基板の裏面側から前記ネガティブフォトレジスト膜を露光する工程と、前記ネガティブフォトレジスト膜を現像して前記第1の島状半導体膜の周縁から内側の表面に開口部を有するレジストマスクを形成する工程と、前記レジストマスクの開口部内の前記第1の絶縁膜をエッチングする工程と、前記レジストマスクを除去する工程と、前記透明基板の表面側全面に第2の絶縁膜を形成し、さらにその上に導電体膜を形成する工程と、前記第1の島状半導体膜上方の導電体膜上に第1のマスクパターンを形成し、前記第2の島状半導体膜上方の導電体膜上に第2のマスクパターンを形成する工程と、前記第1のマスクパターンをマスクとして前記導電体膜をエッチングして第1のゲート電極を形成し、前記第2のマスクパターンをマスクとして前記導電体膜をエッチングして第2のゲート電極を形成する工程とを有することを特徴とする薄膜トランジスタ装置の製造方法。

IPC (9件)：

H01L 21/336 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 342 , G09F 9/30 338 , G09F 9/35 , H01L 21/8238 , H01L 27/08 331 , H01L 27/092 , H01L 29/786

FI (13件)：

G02F 1/1368 , G09F 9/00 342 Z , G09F 9/30 338 , G09F 9/35 , H01L 27/08 331 E , H01L 29/78 617 S , H01L 29/78 627 C , H01L 29/78 613 A , H01L 29/78 612 B , H01L 29/78 616 A , H01L 29/78 617 N , H01L 29/78 613 Z , H01L 27/08 321 D

Fターム (100件)：

2H092GA59 , 2H092HA04 , 2H092JA25 , 2H092JA33 , 2H092JA35 , 2H092JA36 , 2H092JA47 , 2H092JB57 , 2H092JB69 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KA12 , 2H092KA16 , 2H092KA17 , 2H092KB04 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA16 , 2H092MA17 , 2H092MA30 , 2H092MA42 , 2H092NA21 , 2H092NA23 , 5C094AA05 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA15 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094GB10 , 5C094HA08 , 5F048AA05 , 5F048AA07 , 5F048AB10 , 5F048AC04 , 5F048BA16 , 5F048BB16 , 5F048BC06 , 5F048BC16 , 5F048BG05 , 5F110AA12 , 5F110AA16 , 5F110AA26 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110CC02 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE24 , 5F110EE29 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF12 , 5F110FF22 , 5F110FF23 , 5F110FF25 , 5F110FF30 , 5F110FF35 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG25 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL07 , 5F110HL12 , 5F110HL23 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN73 , 5F110NN78 , 5F110PP03 , 5F110PP35 , 5F110QQ11 , 5F110QQ12 , 5G435AA01 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435KK05 , 5G435KK09 , 5G435LL07

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