特許
J-GLOBAL ID：200903024223054996
アイソレータ装置の連通機構
発明者：
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 喜多男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109419
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304324
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルームにおける無菌・無塵状態を維持したアイソレータ装置にあって、遮閉状態及び連通状態のいずれの場合にも、その内部に汚染空気が侵入することのない連通機構を提案する。【解決手段】 内部を無菌・無塵状態を維持して遮閉化されるアイソレータ装置1a,1bに、他のアイソレータ装置と相互に連通する可変連通路12,12を設け、かつ該可変連通路12,12を、その少なくとも一面を構成する可動ゲート20の開閉作動により、アイソレータ装置の遮閉状態で閉狭路態様Xとし、アイソレータ装置1a,1b相互の連通状態で開広路態様Yとすると共に、該可変連通路12の周面に空気吹き出し面22を形成し、該空気吹き出し面22から常に可変連通路12側へ空気圧を印加するようにした。
請求項（抜粋）：
内部を無菌・無塵状態を維持して遮閉化されるアイソレータ装置に、他のアイソレータ装置と相互に連通する可変連通路を設け、かつ該可変連通路を、その少なくとも一面を構成する可動ゲートの開閉作動により、アイソレータ装置の遮閉状態で閉狭路態様とし、アイソレータ装置相互の連通状態で開広路態様とすると共に、該可変連通路の周面に空気吹き出し面を形成し、該空気吹き出し面から常に可変連通路側へ空気圧を印加するようにしたことを特徴とするアイソレータ装置の連通機構。
IPC (3件)：
F24F 7/06
, F24F 13/02
, H01L 21/02
F24F 7/06 C
, F24F 13/02 A
, H01L 21/02 D
3L058BE02
, 3L058BF05
, 3L058BG03
, 3L058BG04
, 3L080AA04
, 3L080AA06
, 3L080AB04
, 3L080AC05
