特許

J-GLOBAL ID：200903024226720679

基板回転乾燥装置の排気装置

発明者： 杉本 賢司
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161398
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022378
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 チャンバ内のパーティクルを低減する。【構成】 排気装置は、基板を保持するロータと、開閉可能な基板出入口を有しかつロータを覆うチャンバとを備えた乾燥装置に用いられる装置である。この装置は、槽排気ダクト28及び軸排気ダクト37を含む排気部と、槽排気ダンパー52及び軸排気ダンパー53とを備えている。排気部はチャンバ内を排気する。槽排気ダンパー52及び軸排気ダンパー53は、基板出入口が開いているとき、排気部による排気を停止するために閉じる。

請求項（抜粋）：

基板を保持する回転保持部と、開閉可能な基板出入口を有しかつ前記回転保持部を覆うチャンバとを備えた基板回転乾燥装置の排気装置であって、前記チャンバ内を排気する排気部と、前記基板出入口が開いているとき、前記排気部による排気を停止する停止手段と、を備えた基板回転乾燥装置の排気装置。