特許
J-GLOBAL ID：200903024228047068
加工表面検査装置およびその検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-326758
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160053
出願日： 1997年11月27日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 加工表面検査を容易に行い、正確な検査結果を得る。【解決手段】 検査対象部材1の加工表面2を撮像して画像信号を出力する撮像手段4と、撮像手段4により出力された画像信号を、画像信号の輝度に基づく画像情報に変換処理する画像信号処理手段5と、画像信号処理手段5により変換処理された画像情報をフーリエ変換すると共に、フーリエ変換された結果に基づいて加工表面2の面粗度を定量化する数値演算処理手段6とを備える。
請求項（抜粋）：
検査対象部材の加工表面を撮像して画像信号を出力する撮像手段と、該撮像手段により出力された前記画像信号を、該画像信号の輝度に基づく画像情報に変換処理する画像信号処理手段と、該画像信号処理手段により変換処理された前記画像情報をフーリエ変換すると共に、フーリエ変換された結果に基づいて前記加工表面の面粗度を定量化する数値演算処理手段とを備えることを特徴とする加工表面検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/30 102
, G01N 21/88
, G06T 7/00
G01B 11/30 102 Z
, G01N 21/88 J
, G06F 15/70 330 F
