特許

J-GLOBAL ID：200903024229931972

シリコンウェーハーキャリア

発明者： 張 恩来 ,  山本 敏
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003056
公開番号（公開出願番号）：特開平9-194578
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：

【要約】【課題】 シリコンウェーハーの表面汚れを実質的に生じさせない程度に揮発ガス発生量が抑えられ、かつ高い機械的強度及び耐熱性を備えたシリコンウェーハーキャリアを提供する。【解決手段】 150°Cで60分間熱処理したときに発生する揮発ガスの量が200ppm以下であり、80°Cの超純水の中で120分間浸漬処理したときに溶出するアルカリ金属の量が10ppm以下である熱可塑性ポリエステル樹脂よりなるシリコンウェーハーキャリア。

請求項（抜粋）：

150°Cで60分間熱処理したときに発生する揮発ガスの量が200ppm以下であり、80°Cの超純水の中で120分間浸漬処理したときに溶出するアルカリ金属の量が10ppm以下である熱可塑性ポリエステル樹脂よりなるシリコンウェーハーキャリア。

IPC (2件)：

C08G 63/183 NME ,  H01L 21/68

FI (2件)：

C08G 63/183 NME ,  H01L 21/68 T