圧電アクチュエータとその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-349029
公開番号（公開出願番号）：特開平10-181013
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】【課題】良好なアクチュエータの駆動特性を実現しつつ、発生応力を低く抑えることを可能とし、信頼性の高いアクチュエータを得る。【解決手段】基板1上に、電極を有する圧電素子2を備えてなる圧電アクチュエータ10において、上記圧電素子2と基板1との接合部の側面に、曲率半径0.5〜80μmの凹曲面部7を形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に、電極を有する圧電素子を備えてなる圧電アクチュエータにおいて、上記圧電素子と基板との境界部に、曲率半径0.5〜80μmの凹曲面部を形成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (4件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

インク噴射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-014541 出願人：ブラザー工業株式会社

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