特許
J-GLOBAL ID：200903024235784353
リソグラフイ-用ペリクル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-183251
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005982
出願日： 1991年06月27日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明はペリクルの通気性がよく、その内外差圧をなくすことができ、ペリクル内への粒子侵入阻止率を高くしたリソグラフィ-用ペリクルの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のリソグラフィ-用ペリクルは、ペリクル装着用のペリクル枠の一部に開口部を設け、この開口部を除粒子用のフイルタ-で覆うてなることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
ペリクル装着用のペリクル枠の一部に開口部を設け、この開口部を除粒子用のフィルタ-で覆うてなることを特徴とするリソグラフィ-用ペリクル。
IPC (2件)：
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