特許
J-GLOBAL ID：200903024244642863
SPMカンチレバー及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-304229
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311207
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】 各種の用途あるいは使用方法において要求されるレバー特性と探針特性とを共に満足することの可能なSPMカンチレバー及びその製造方法を提供する。【構成】 ガラス,Si等からなる片持ち梁支持部103と、該支持部103に一端を陽極接合によりあるいは接着剤を介して固着したシリコン又は窒化シリコン等からなる片持ち梁部101と、該片持ち梁部101の自由端であって、該片持ち梁部101に対して前記支持部103と反対側である裏面に設けた、前記片持ち梁部101とは別体の探針部102とでSPMカンチレバーを構成する。そして深針部102の形成材料としては、用途に応じ光透過性、導電性、硬質性等の各種特性を有するものを適宜選択して用いる。
請求項（抜粋）：
片持ち梁の支持部と、該支持部より延びるように配置された片持ち梁と、該片持ち梁の自由端であって、該片持ち梁に対して前記支持部と反対側である裏面に設けた探針部とを備え、前記支持部、片持ち梁及び探針部をそれぞれ別個の部材で構成していることを特徴とするSPMカンチレバー。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
