特許

J-GLOBAL ID：200903024251294552

マイクロ化学システム用チップ及びその製造方法

発明者： 藤野 一也 ,  三輪 隆雄 ,  豊島 隆之
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-286927
公開番号（公開出願番号）：特開2004-125476
出願日： 2002年09月30日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】ガラスの加熱融着によってガラス基板同士が良好に接合することができるマイクロ化学システム用チップ及びその製造方法を提供する。【解決手段】マイクロ化学システム用チップ10は、両端が夫々Y字形に分岐しているスリット6等が形成された透明なガラス基板1と、ガラス基板1の接合面7に接合される透明なガラス基板2と、ガラス基板1の接合面8に接合される透明なガラス基板3とを備える。マイクロ化学システム用チップ10は、ガラス基板1,2,3の表面にフッ酸処理を施した後、酸処理により融着層36を形成し、さらに、アルカリ処理を施して融着層36を改質する。次に、ガラス基板1,2,3を荷重をかけた状態で、600〜650°C、例えば630°Cで、即ちガラス基板1,2,3のガラス粘度をηで表したときに、logη=10.5〜12.5、例えば11.5となる温度で加熱融着する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

互いに接合されるべき少なくとも2枚のガラス基板で構成されたマイクロ化学システム用チップの製造方法において、前記ガラス基板のガラス粘度をηで表したときに、前記ガラス基板をlogηが10.5〜12.5となる温度で加熱融着することを特徴とするマイクロシステム用化学チップの製造方法。

IPC (4件)：

G01N37/00 ,  B01J19/00 ,  B81C3/00 ,  G01N21/05

FI (4件)：

G01N37/00 101 ,  B01J19/00 321 ,  B81C3/00 ,  G01N21/05

Fターム (24件)：

2G057AA01 ,  2G057AB06 ,  2G057AC01 ,  2G057BA05 ,  2G057BB01 ,  2G057GA02 ,  4G075AA13 ,  4G075AA39 ,  4G075AA62 ,  4G075BA10 ,  4G075BB03 ,  4G075BB05 ,  4G075BB10 ,  4G075BD15 ,  4G075BD24 ,  4G075CA02 ,  4G075CA57 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EE12 ,  4G075EE23 ,  4G075FA01 ,  4G075FA12 ,  4G075FB06