特許
J-GLOBAL ID:200903024251622282
エアスライド装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
江原 省吾 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-097659
公開番号(公開出願番号):特開平10-288225
出願日: 1997年04月15日
公開日(公表日): 1998年10月27日
要約:
【要約】【課題】 長ストロークかつ高精度のエアスライド装置を低コストで提供する。【解決手段】 スライド部材3は、左右方向(水平方向)には、左右一対の空気軸受(ノズル3b2、ノズル3c2)によって第1ガイド部材1の左右の案内面1a、1bに対して非接触支持され、上下方向(鉛直方向)には、第1ガイド部材1の上面1cおよび下面1dと充分な隙間L1、L2を保ち、空気軸受(ノズル3d2)の軸受力と吸引用マグネット3d3の磁気吸引力および自重とのバランスによって第2ガイド部材2の案内面2aに対して非接触支持された状態で、リニアモータ4によってスライド駆動され、第1ガイド部材1および第2ガイド部材2に沿ってスライド運動する。
請求項(抜粋):
互いに平行な左右一対の案内面を有する第1ガイド部材と、第1ガイド部材の下面に面した案内面を有する第2ガイド部材と、左右方向には、左右一対の空気軸受によって第1ガイド部材の案内面に非接触支持され、上下方向には、第1ガイド部材の上面および下面と充分な隙間を保ち、第2ガイド部材の案内面に非接触支持されるスライド部材とを備えたエアスライド装置。
IPC (2件):
FI (2件):
F16C 32/00 C
, H02K 41/03 A
引用特許:
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