特許

J-GLOBAL ID：200903024252697316

検査機構および被検査物搬送検査装置ならびに検査方法

発明者： 伊藤 忍 ,  石塚 章 ,  江川 正美
出願人/特許権者： 株式会社ユニテック
代理人 (2件)： 磯野 道造 ,  多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-334959
公開番号（公開出願番号）：特開2007-139616
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】レンズ作用面を有する透明体が設置されたワークの透明体に対面する内部が鮮明に撮像でき、また、透明体に傷をつけることなく検査することができる検査機構および被検査物搬送検査装置ならびに検査方法を提供することを課題とする。【解決手段】レンズ作用を有する透明体W1が設けられた被検査物Wを、搬送機構20により保持して検査位置Tまで搬送し、当該検査位置の被検査物を撮像カメラにより撮像して画像を解析して検査する検査機構20であって、光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする透光板31およびゲル体32と、を有する透光介在板30と、この透光介在板のゲル体に対面する前記検査位置に前記被検査物が保持されて前記搬送機構により搬送されたときに、前記ゲル体を前記被検査物の透明体に当接あるいは離間させるように前記透光介在板を移動させる透光介在板移動機構20ABと、を備える構成とした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レンズ作用面を有する透明体が設けられた被検査物を、搬送機構により保持して検査位置まで搬送した後に、当該検査位置の被検査物を撮像カメラにより撮像して画像を解析して検査するための検査機構であって、 光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする透光板と、この透光板に当接して設けられ、光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする所定厚みのゲル体と、を有する透光介在板と、 この透光介在板のゲル体に対面する前記検査位置に前記被検査物が保持されて前記搬送機構により搬送されたときに、前記ゲル体を前記被検査物における透明体のレンズ作用面に当接および離間させるように前記透光介在板を移動させる透光介在板移動機構と、 を備えることを特徴とする検査機構。

IPC (4件)：

G01N 21/85 ,  G01B 11/30 ,  G01M 11/00 ,  H01L 33/00

FI (4件)：

G01N21/85 Z ,  G01B11/30 Z ,  G01M11/00 T ,  H01L33/00 K

Fターム (22件)：

2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB22 ,  2F065CC00 ,  2F065CC22 ,  2F065FF04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG17 ,  2F065LL00 ,  2F065PP13 ,  2G051AA01 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051AC11 ,  2G051BA01 ,  2G051CA04 ,  2G051DA01 ,  2G051DA05 ,  2G051DA20 ,  2G086EE03 ,  5F041AA46

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3709541号公報