特許
J-GLOBAL ID：200903024263798351
ウエハの周辺部露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-276374
公開番号（公開出願番号）：特開平9-097761
出願日： 1995年09月28日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：
【要約】【課題】 露光ビーム照射手段とウエハとの露光ビーム照射方向の位置関係を遠隔的に調節することにより、その焦点調節を安全に、かつ、容易に行なうことができるウエハの周辺部露光装置を提供する。【解決手段】 レンズユニット47は、所定の焦点距離を有する集光レンズなどから構成され、レンズホルダ46とともにリニアガイド45に沿って昇降可能に構成されている。レンズホルダ46の当接部材の下方には、パルスモータであるZ軸モータ50により回転駆動される螺軸51が配設されており、この螺軸51が回転上昇されるに従ってその先端の先細り部分が当接部材の下部を押し上げる。
請求項（抜粋）：
フォトレジスト被膜が形成されたウエハを回転させつつ、その周辺部を露光するウエハの周辺部露光装置であって、フォトレジスト被膜が形成されたウエハを支持して回転駆動する支持回転手段と、前記支持回転手段に支持されたウエハの周辺部に対して露光ビームを照射する、所定の焦点距離を有する露光ビーム照射手段と、前記露光ビーム照射手段と前記ウエハとの露光ビーム照射方向の位置関係を相対的に変位させる変位手段と、前記変位手段を介して前記位置関係を所定距離だけ変位させるとともに、前記支持回転手段を所定角度だけ回転させつつ前記露光ビーム照射手段から露光ビームを照射させ、前記位置関係をさらに所定距離だけ変えるとともに前記支持回転手段をさらに所定角度だけ回転させつつ露光ビームの照射を所定回数繰り返す制御手段と、前記露光ビームが照射されたウエハの現像後、ウエハ周辺部の各領域のうちどの領域が露光ビームの合焦状態であるかに基づいて当該領域(合焦領域)に関連する値を指示する指示手段と、前記指示された値に基づいて、前記変位手段を前記合焦領域に対応する位置関係となるように設定する変位設定手段と、を備えていることを特徴とするウエハの周辺部露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G12B 5/00
, H01L 21/68
H01L 21/30 577
, G12B 5/00 T
, H01L 21/68 F
