一体化された光学系およびカンチレバーマウントを備える走査力顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-041582
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011327
出願日： 1993年03月03日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】一体化された光学系およびカンチレバーマウントを備える走査力顕微鏡を提供する。【構成】走査力顕微鏡は、光学レバーアーム、プローブおよび検査するサンプルを観察する一体化された光学系を備える。走査力顕微鏡はプローブのための改良されたマウントを備え、これは走査力顕微鏡の本体に磁気的に固定するものとし、プローブ集成体の取扱いおよび取付けの容易性を改良する。1つの好適な態様では、封止したガスまたは液体環境中のサンプルを受容する流体セルを備える基部部分も備える。

請求項（抜粋）：

標本の表面外形を検査する一体化された光学系を備える定置本体を有する走査力顕微鏡であって、a)顕微鏡について前記走査による検査のための前記標本の取付けに対する走査手段(前記走査手段は前記本体に固定され、前記本体に対して前記標本を3つの自由度で動かすよう適合させる)、b)前記走査本体に固定された光学レバーアーム手段(前記光学レバーアーム手段は反射表面を備える)、c)実質的に一定量の力により標本の表面外形と接触して追跡するよう適合させたプローブ先端を備える、前記光学レバーアーム手段に固定されたプローブ手段、d)前記光学レバーアーム手段に向けられると共にこれにより偏向される焦点を合せたレーザー光線を生成するレーザー光源手段、e)前記光学レバーアーム手段により偏向された前記レーザー光線を受容し、前記光学レバーアーム手段による前記レーザー光線の偏向の程度の表示である出力を生成する光検出器手段(前記光検出器手段は前記本体に取付けられる)、およびf)前記標本の前記表面外形に隣接した前記プローブ手段を観察する手段(前記観察する手段は前記本体に配置される)からなる走査力顕微鏡。

IPC (3件)：

G01B 11/30 , G01B 21/30 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平3-259728
特開平3-071001
特開平3-296612

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