特許
J-GLOBAL ID：200903024271370883
異物検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008920
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196579
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 液晶パネル製造工程等に用いられるガラス基板など、ガラス材表面の異物検査装置において、ガラス材の裏面に異物が付着する場合でも、ガラス材の表面の異物のみを確実に検出する装置を提供することを目的とする。【構成】 レーザースキャニングのための照射光1として、ガラス基板3を透過しない波長の光、或はガラスの透過率が低い波長の光を使用する。
請求項（抜粋）：
レーザースキャニング方式による異物検査装置において、照射光として、ガラスを透過しない波長の光、或は、ガラスの透過率が低い波長の光を使用することを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
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