特許

J-GLOBAL ID：200903024282091579

位置計測装置及び方法、露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者： 加藤 正紀 ,  石橋 さやか ,  戸口 学 ,  帆引 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-323367
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134392
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】 スループットを低下させずに高い計測精度を得ることができる位置計測装置及び方法を提供し、高い精度で重ね合わせを行うことができる露光装置を提供し、更に当該露光装置を用いたデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】 プレートPの中央部を通り、X軸方向に伸びる直線L1及びY軸方向に伸びる直線L2で区分される第1象限R1から第4象限R4の各々に形成されたマークAM1〜AM4各々に対応して設けられ、対応するマークAM1〜AM4に検出光を照射して得られる光に基づいて対応するマークAM1〜AM4の位置情報を計測する少なくとも4つのプレートアライメントセンサ20a〜20dを備え、第1象限R1から第4象限R4各々に形成されたマークAM1〜AM4のX軸方向及びY軸方向の位置情報を、4つのプレートアライメントセンサ20a〜20dを少なくとも用いて同時に計測する。

請求項（抜粋）：

被位置検出体の中央部を通り、第1方向に伸びる直線及び当該第1方向と直交する第2方向に伸びる直線で区分される第1象限から第4象限の各々に形成されたマーク各々に対応して設けられ、対応するマークに検出光を照射して得られる光に基づいて対応するマークの位置情報を計測する少なくとも4つのセンサ部と、前記第1象限から第4象限各々に形成された前記マークの前記第1方向及び前記第2方向における位置情報を、前記4つのセンサ部を少なくとも用いて同時に計測する制御系とを具備することを特徴とする位置計測装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/02

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 525 F ,  H01L 21/30 525 X

Fターム (32件)：

2F065AA03 ,  2F065BB02 ,  2F065BB29 ,  2F065CC20 ,  2F065DD03 ,  2F065FF42 ,  2F065FF55 ,  2F065GG02 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ32 ,  5F046BA04 ,  5F046DA14 ,  5F046EB01 ,  5F046EB03 ,  5F046ED01 ,  5F046ED02 ,  5F046ED03 ,  5F046FA03 ,  5F046FA10 ,  5F046FA17 ,  5F046FA18 ,  5F046FC05 ,  5F046FC07