特許
J-GLOBAL ID：200903024283436910
X線発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 寿武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-166739
公開番号（公開出願番号）：特開平9-017363
出願日： 1995年07月03日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】 電子ビームeが対陰極4のねらい位置へ正確に衝突するように電子銃1の向きを自動的に調節できるようにして、該調節作業の容易化を図る。【構成】 電子銃1から発射した電子ビームeを電磁レンズ3で収束し、対陰極4に衝突させることによって、該対陰極4の表面からX線を発生させる。このようなX線発生装置において、対陰極4に対する電子ビームeの衝突位置を検出する電子ビーム検出部材5を設ける。該電子ビーム検出部材5の検出結果に基づいて、対陰極4に対する電子ビームeのねらい位置と衝突位置とのずれを比較回路7で求め、駆動回路8によって電子銃1の向きを変えることにより、該位置ずれを補正する。
請求項（抜粋）：
電子銃から発射した電子ビームを電磁レンズで収束し、対陰極に衝突させることによって、該対陰極の表面からX線を発生させるX線発生装置において、前記対陰極に対する電子ビームの衝突位置を検出する電子ビーム衝突位置検出手段と、該電子ビーム衝突位置検出手段の検出結果に基づいて前記対陰極に対する電子ビームのねらい位置と衝突位置とのずれを求める補正量検出手段と、該補正量検出手段によって検出した位置ずれを補正するように前記電子銃を駆動する電子銃駆動手段とを備えたことを特徴とするX線発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 35/14
, H01J 35/06 Z
