特許

J-GLOBAL ID：200903024284887737

走査透過電子顕微鏡

発明者： 大蔵 昭光 ,  宮本 亮一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-276436
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169429
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】試料と対物レンズとの間隙に制約があっても、他の検出器と併用して透過電子像が観察でき、しかも、明視野像と暗視野像のどちらでも目的に応じて容易に観察することのできる手段を提供すること。【構成】走査形電子顕微鏡において、試料9と透過電子検出器23との間に、明視野像コントラストを与える絞りと、暗視野像コントラスト与える絞りを、共通の絞り台25上に保持した手段を設け、光軸上から出し入れすることにより、所望の透過電子像を得ることができるよう構成する。また、前記明視野像コントラストを与える絞りは、試料からの散乱電子角度(半開角)が10mrad以下となる電子線通過孔を有する部材で構成し、前記暗視野像コントラスト与える絞りは、試料からの散乱電子角度(半開角)が少なくとも50mrad以上となる電子線遮断幅を有する部材で構成する。

請求項（抜粋）：

電子線を試料上で走査する手段を有し、前記試料から検出された映像信号を表示手段に導入して走査像を得る装置において、試料と透過電子検出器との間に、明視野像コントラスト与える絞りと、暗視野像コントラスト与える絞りとを、共通の絞り台上に保持できる手段を設け、光軸上から出し入れすることにより、所望の透過電子像を得ることができるよう構成したことを特徴とする走査透過電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/09 ,  H01J 37/26