特許
J-GLOBAL ID：200903024293726770
角速度センサの電極構造
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-096310
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026321
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：
【要約】[目的] 2軸の角速度を検出できる小型の角速度センサを得る。[構成] 板状の振動体、該振動体の表面に板状の圧電素子を貼付し、該圧電素子の中心で直交する2軸の正負方向に1つずつ合計4つの検出電極を形成し、4つの検出電極の周囲に帰還電極を形成した。
請求項（抜粋）：
板状の振動体、該振動体の表面に板状の圧電素子を貼付し、該圧電素子の中心で直交する2軸の正負方向に1つずつ合計4つの検出電極を形成し、4つの検出電極の周囲に帰還電極を形成したことを特徴とする角速度センサの電極構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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