特許
J-GLOBAL ID：200903024298074518
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-271880
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089913
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において移動装置の移動量を正確に把握し、試料表面の観察中または観察後に較正を行い、歪みの少ない観察像を得る。【解決手段】 探針13を備え、探針と試料12の間の物理量に応じて変位するカンチレバー14と、カンチレバーのたわみによる変位量を検出する変位量検出回路20と、円筒型圧電体31を用いて構成され、試料12とカンチレバーの一方を試料の観察面に平行な方向と直交する方向に移動させる移動装置15と、移動装置の移動量を制御する移動量制御装置21,22 と、変位量検出回路と移動量制御装置からのデータに基づき試料の表面に関係する物理量を演算し画像化する画像作成手段37を備え、移動装置の圧電体に歪みゲージ1a-3a を付設し、歪みゲージを利用して移動量検出回路36を形成することにより、移動装置の移動量を検出するように構成される。
請求項（抜粋）：
先部に探針を備え、この探針と試料の間の物理量に応じて変位するカンチレバーと、前記カンチレバーの変位量を検出する変位量検出手段と、圧電素子を用いて構成され、前記試料と前記カンチレバーのいずれかを前記試料の観察面に沿う方向および前記観察面に交差する方向に移動させる移動手段と、前記移動手段の移動量を制御する移動量制御手段と、前記変位量検出手段と前記移動量制御手段より得られたデータに基づき前記試料の表面に関係する物理量を演算し画像化する画像作成手段とを備えた走査型プローブ顕微鏡において、前記移動手段の前記圧電素子に歪みゲージを付設し、前記歪みゲージを利用して移動量検出回路を形成することにより、前記移動手段の移動量を検出するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
