特許
J-GLOBAL ID：200903024302869610

静電チャック

発明者：
森田 直年

森田 直年 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-159746
公開番号（公開出願番号）：特開2004-006505
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【課題】アーキングを抑制して、例えばアルミ等の飛散を防止することができる静電チャックを提供すること。【解決手段】静電チャック(1)には、絶縁体(7)のチャック面(3)から金属ベース(9)のベース面(11)に到る冷却用ガス穴(13)が設けられている。冷却用ガス穴(13)として、絶縁体(7)内にてチェック面(3)に平行に横穴(15)が形成され、横穴(15)の一端側には、横穴(15)からチャック面3側に向かって垂直に、チャック側経路(17)が設けられ、横穴(15)の他端側にも、横穴(15)からベース面(11)側に向かって垂直に、ベース側経路(19)が設けられている。従って、冷却用ガス穴(13)は、内部で直角に曲がっているので、チェック面(3)側からチャック側経路(17)の内部を見た場合には、ベース側経路(19)は見えず、絶縁体(7)の一部が見えるだけである。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
内部に吸着用電極を有する絶縁体と前記絶縁体に接合した金属ベースとを備え、前記絶縁体のチャック面側にて被吸着部材を吸着する静電チャックにおいて、 前記被吸着部材を冷却する冷却用ガスを前記絶縁体のチャック面側に供給するために、前記金属ベース及び前記絶縁層を貫いて冷却用ガス穴を設けるとともに、 前記冷却用ガス穴の構造を、前記チャック面側から見た場合に前記金属ベースが見えないようにしたことを特徴とする静電チャック。
IPC (1件)：
H01L21/68
FI (1件)：
H01L21/68 R
Fターム (16件)：
4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029CA10 ,  4K029JA01 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA38 ,  5F031HA39 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA08 ,  5F031PA26 ,  5F031PA30
引用特許：
審査官引用 (2件)

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