特許
J-GLOBAL ID：200903024303597168
半導体露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-021623
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199401
出願日： 1996年01月16日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 プリンタから発生する塵埃の半導体露光装置への影響を排除する。【解決手段】 半導体露光装置本体と、装置を制御し、必要な情報をプリントデータとして出力するワークステーション7とを備えた半導体露光装置5において、前記プリントデータを受け入れて記憶し、あるいは携帯可能な記憶媒体へ出力するとともに、そのプリントデータを表示する、好ましくは携帯可能な、小型コンピュータ8を具備する。あるいは、前記プリントデータを、半導体露光装置本体から離れた所のプリンタへ出力する無線通信手段を有する。
請求項（抜粋）：
半導体露光装置本体と、装置を制御し、必要な情報をプリントデータとして出力するワークステーションとを備えた半導体露光装置において、前記プリントデータを受け入れて記憶するとともに表示する携帯可能な小型コンピュータを具備することを特徴とする半導体露光装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 502 G
, H01L 21/30 516 Z
